特許
J-GLOBAL ID：200903002933886695
半導体試験装置の自己診断装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-153140
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002044
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【構成】 半導体素子の動作を試験するために用いられ制御手段(汎用コントロール回路9及び制御回路12)を有する半導体試験装置1と、半導体試験装置1に接続され制御手段の指令に従って半導体試験装置1の機能を診断する診断ボード2′とを備えた半導体試験装置の自己診断装置において、診断ボード2′が、内部の論理が変更可能な可変論理回路素子13を有することを特徴としている。【効果】 診断が短時間に行え、故障箇所の特定と故障の種類の特定とが容易な半導体試験装置の自己診断装置が得られる効果がある。
請求項（抜粋）：
半導体素子の動作を試験するために用いられ制御手段を有する半導体試験装置と、前記半導体試験装置に接続され前記制御手段の指令に従って前記半導体試験装置の機能を診断する診断手段とを備えた半導体試験装置の自己診断装置において、前記診断手段が、内部の論理が変更可能な可変論理回路を有することを特徴とする半導体試験装置の自己診断装置。
IPC (2件)：
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