特許

J-GLOBAL ID：200903002944029123

ライフタイム測定装置

発明者： 重山 吉偉
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-109275
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319633
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】高分解能で全体測定が可能な小形のライフタイム測定装置を提供する。また測定時間を可及的に短くするライフタイム測定装置を提供する。また高精度のライフタイム測定装置を提供する。【解決手段】ライフタイム測定装置1は、液晶シャッター3を含んで構成される。液晶シャッター3は、半導体試料12とレーザ光源2との間に介在され、2次元マトリックス状に配置される複数の制御領域を有し、各制御領域のおけるレーザ光13の透過および遮断を個別に制御する。したがって機械的に導光状態を変更するより、ライフタイム測定装置1を小形化することができ、また測定時間を短縮することができる。また電気的に制御することによって面分解能を容易に向上することができ、高精度のライフタイムを求めることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体試料に原子を励起するための励起用電磁波を照射するための励起波源と、 半導体試料にキャリアの多寡によって反射率が変化する検出用電磁波を照射するためのプローブ波源と、 プローブ波源によって照射された検出用電磁波の半導体試料による反射強度を検出する検出手段と、 半導体試料と励起波源との間に介在され、複数の制御領域を有し、各制御領域における半導体試料に対する励起用電磁波の導光状態を制御する照射制御手段と、 検出される反射強度に基づいて、キャリアのライフタイムを求める演算手段とを含むことを特徴とするライフタイム測定装置。

IPC (2件)：

H01L21/66 ,  G01N22/00

FI (2件)：

H01L21/66 M ,  G01N22/00 U

Fターム (5件)：

4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CB11 ,  4M106DH37 ,  4M106DH60