特許
J-GLOBAL ID：200903002946838134
ボロメータ用検知膜とその製造方法、及びボロメータ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-075389
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271145
出願日： 1998年03月24日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 赤外線検知素子等に用いるボロメータ用検知膜において、25°Cから120°Cの温度領域で、相転移の発生しない二酸化バナジウム層からなるボロメータ用検知膜を提供する。【解決手段】 絶縁性基板上に形成されたボロメータ用検知膜を、絶縁性基板の表面に垂直な方向に配向したc軸を有する二酸化バナジウム結晶より形成する。
請求項１：
絶縁性基板上に形成された二酸化バナジウム層からなり、該二酸化バナジウム層の抵抗を測定して照射された輻射エネルギー強度を測定するボロメータ用検知膜であって、上記二酸化バナジウム層を形成する二酸化バナジウムの結晶が、そのc軸が上記絶縁性基板の表面に対して垂直な方向に配向するように形成されたことを特徴とするボロメータ用検知膜。
引用特許：
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