特許
J-GLOBAL ID：200903002963743350
紫外線受光デバイスおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-142975
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335613
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は小型で紫外領域に感度のピークを有する光センサとして有用な紫外線受光デバイス及びその製造方法を提供することにある。【構成】 本発明の紫外線受光デバイスは、導電性または絶縁性基材上にダイヤモンド膜を接合すると共に、少なくとも該ダイヤモンド膜上に電極を設けてなり、該ダイヤモンド膜が、CO/H2 系原料ガスを用いて気相法により合成されてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
導電性または絶縁性基材上にダイヤモンド膜を接合するとともに、少なくとも該ダイヤモンド膜上に電極を設けてなり、該ダイヤモンド膜が、一酸化炭素と水素との混合物または一酸化炭素と水素と二酸化炭素、酸素、および水よりなる群から選択される少なくとも一種との混合物を原料として気相法により合成されてなることを特徴とする紫外線受光デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 31/08 Z
, H01L 31/00 B
