特許
J-GLOBAL ID：200903002964720450
金平糖状無機酸化物ゾル、その製造方法および前記ゾルを含む研磨剤
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 政久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-323554
公開番号（公開出願番号）：特開2008-137822
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2008年06月19日
要約：
【課題】 粗大粒子径を含まず、粒子径が極めて均一な微粒子が溶媒に分散してなる金平糖状無機酸化物ゾルを得る。【解決手段】 核粒子分散液に酸性珪酸液を添加して核粒子を成長させた後、前記添加速度の1.2〜1.8倍の添加速度で再び酸性珪酸液を添加して前記核粒子を成長させて金平糖状無機酸化物ゾルを調製し、次いで、該ゾルを遠心分離処理して平均粒子径800nm以上の粗大粒子を除去することにより、金平糖状という特異な形状をした微小な球状無機酸化物微粒子が得られる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)真球度が0.8〜1の範囲にあり、
(b)ナトリウム滴定法により測定される比表面積を(SA1)とし、画像解析法により測定された平均粒子径(D2)から換算した比表面積を(SA2)としたときの表面粗度(SA1)/(SA2)の値が、1.20〜1.70の範囲にあり、
(c)画像解析法により測定された平均粒子径(D2)が10〜60nmの範囲にある、
球状無機酸化物微粒子の表面に疣状突起を有する金平糖状無機酸化物微粒子が、溶媒に分散してなる金平糖状無機酸化物ゾルであって、次の条件(d)および(e)を満たすことを特徴とする金平糖状無機酸化物ゾル。
(d)粒子径が800nm以上の粗大粒子の個数が、1500個/mL(固形分濃度1質量%換算)以下
(e)粒子変動係数(CV値)が7.0%以下
IPC (12件)：
C01B 33/143
, C09K 3/14
, A23L 1/238
, C12G 3/00
, C12G 3/02
, C12G 1/00
, C12G 3/08
, A23L 2/70
, A23L 2/38
, A23L 1/00
, C12J 1/04
, H01L 21/304
C01B33/143
, C09K3/14 550D
, A23L1/238 104C
, C12G3/00
, C12G3/02 119U
, C12G1/00
, C12G3/08 102
, A23L2/00 K
, A23L2/38 B
, A23L1/00 Z
, C12J1/04 104
, H01L21/304 622B
4B017LC07
, 4B017LK01
, 4B028BC10
, 4B028BL30
, 4B028BL34
, 4B035LC16
, 4B035LG01
, 4B035LK19
, 4B039LB01
, 4B039LC10
, 4B039LG31
, 4B039LR13
, 4G072AA25
, 4G072AA28
, 4G072BB05
, 4G072BB20
, 4G072CC01
, 4G072EE01
, 4G072GG02
, 4G072HH21
, 4G072HH24
, 4G072LL06
, 4G072MM01
, 4G072PP01
, 4G072RR12
, 4G072SS02
, 4G072TT01
, 4G072TT05
, 4G072UU27
, 4G072UU30
出願人引用 (20件)
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審査官引用 (9件)
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