特許
J-GLOBAL ID：200903002966503899
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-269626
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106284
出願日： 1993年10月01日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 冷却水の飛散及び液滴の落下によるウエハ表面の汚染を防止することにより、安定した品質の被切断素子を常時供給し、ダイシング工程の歩留向上を達成し得るダイシング装置を提供する。【構成】 ホイールカバー10は、ブレード12の回転によって飛散した切削水の進路を下方に修正する方向案内30を備えている。飛散水は、方向案内によって特定の方向に方向付けられるので、従来の如く不特定な方向に飛散したり、霧状化後にホイールカバー10等に液滴として付着することなく、排出装置により円滑に収集され、排出される。ホイールカバーは又、前面遮蔽板50を備えており、ホイールカバー10の前方域に向かって飛散する飛散水は、前面遮蔽板50によって遮断される。
請求項（抜粋）：
ブレードと、排出開口をブレードの側方に有するブレードカバーとを備え、冷却水を供給しながらブレードを回転させてウエハを切断すると共に該ブレードの回転によって飛散した前記冷却水を前記排出開口を介して排出するようにしたダイシング装置において、前記飛散した冷却水を案内してその飛散進路を所望の方向に収束するようにした方向案内を前記排出開口に設けたことを特徴とするダイシング装置。
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 Q
