特許

J-GLOBAL ID：200903002971035240

研磨加工方法

発明者： 木和田 一馬
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-422413
公開番号（公開出願番号）：特開2005-177925
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2005年07月07日
要約：

【課題】 特にスモールツールを用いる研磨加工において、加工精度を向上させ、また加工時間を短縮させる。【解決手段】 被研磨物体の形状と目標設計形状との差から研磨加工によって除去すべき除去形状を演算し、研磨工具と被研磨物体との間の押圧荷重に対応する接触面形状と該接触面における圧力分布を演算し、該除去形状と圧力分布とを用いて目標設計形状を得るための研磨条件を演算し、該研磨条件を用いて被研磨物体を研磨する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

研磨工具と被研磨物体とを接触させつつ、相対移動させて被研磨物体を研磨する研磨加工方法において、 前記被研磨物体の形状と、目標設計形状との差から研磨加工によって除去すべき除去形状を演算し、 研磨工具と被研磨物体との間の押圧荷重に対応する接触面形状と、該接触面における圧力分布を演算し、 該除去形状と圧力分布とを用いて目標設計形状を得るための研磨条件を演算し、 該研磨条件を用いて被研磨物体を研磨することを特徴とする研磨加工方法。

IPC (2件)：

B24B51/00 ,  B24B49/02

FI (2件)：

B24B51/00 ,  B24B49/02 Z

Fターム (6件)：

3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB91 ,  3C034CB01 ,  3C034CB18 ,  3C034DD07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 曲面加工法及び加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-267941   出願人：株式会社リコー
• 研磨シミュレーション方法および研磨シミュレーション方法を記録した記録媒体および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-289350   出願人：株式会社東芝

審査官引用 (2件)

• 研磨装置および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-220904   出願人：キヤノン株式会社
• 曲面研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-275543   出願人：株式会社リコー