特許

J-GLOBAL ID：200903002976962310

分析装置および透過電子顕微鏡

発明者： 大塚 満
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097203
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294185
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 電子顕微鏡の視野ドリフトや振動の影響を最小限に抑えることにより高い空間分解能をもつ良質な走査像を取得できる分析装置を提供する。【解決手段】 電子線により試料上を繰り返し2次元的に走査することにより生成される複数の信号のうち1種類以上の信号に対応する走査像を形成する手段が、信号を順次積算して画像メモリに記憶する手段を持ち、また少なくとも1種類の信号に対応する走査像を形成する手段が、その走査像の時間変化から視野のドリフト量を検出する手段と、検出されたドリフトを補償するように試料に対する電子線の走査領域を補正する手段と、前記積算にあたってドリフトを補償するように画素をずらして積算する手段を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に照射することにより生成される複数の信号を並列的に検出できる分析装置において、電子線により試料上を繰り返し2次元的に走査し、前記複数の信号に対応する複数の走査像を並列的に形成する手段と、このうち1種類以上の信号に対応する走査像を形成する手段は、電子線の繰り返し走査に対応して、画素毎にその検出信号を順次積算して画像メモリに記憶する手段をもち、また少なくとも1種類の信号に対応する走査像を形成する手段は、その走査像の時間変化から視野のドリフト量を検出する手段と、検出されたドリフトを補償するように試料に対する電子線の走査領域を補正する手段と、前記積算にあたってドリフトを補償するように画素をずらして積算する手段を備えること、を特徴とする分析装置。

IPC (7件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  G01N 21/62 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/28

FI (7件)：

H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/22 502 B ,  G01N 21/62 A ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/28 C

Fターム (29件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001BA11 ,  2G001BA14 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001FA06 ,  2G001FA21 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA01 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G043AA01 ,  2G043EA11 ,  2G043FA01 ,  2G043GA21 ,  2G043LA01 ,  2G043NA01 ,  2G043NA04 ,  5C033FF10 ,  5C033HH08 ,  5C033LL07 ,  5C033SS01 ,  5C033SS10