特許

J-GLOBAL ID：200903002978044180

プローブ型顕微鏡及び情報記録再生装置

発明者： 高橋 淳一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-171933
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004519
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 本発明は探針と試料の衝突が生じず、かつ動作速度の速いプローブ型顕微鏡及び情報記録再生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 光ファイバのプローブの近傍に発生する近接場光を利用するプローブ型顕微鏡において、プローブと試料の表面間の距離を調整する距離調整機構と、プローブと試料との間に電圧を印加する電圧印加手段と、プローブに所定の共振周波数での振動を付与する加振手段と、電圧印加手段によって印加した電圧による電場によって、又はプローブと試料とが接近することによって発生するシアフォースによってプローブに生ずる振動振幅の変化を測定する振動振幅測定手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

光ファイバのプローブの近傍に発生する近接場光を利用するプローブ型顕微鏡において、プローブと試料の表面間の距離を調整する距離調整機構と、プローブと試料との間に電圧を印加する電圧印加手段と、プローブに所定の共振周波数での振動を付与する加振手段と、前記電圧印加手段によって印加した電圧による電場によって、又はプローブと試料とが接近することによって発生するシアフォースによってプローブに生ずる振動振幅の変化を測定する振動振幅測定手段とを具備することを特徴とするプローブ型顕微鏡。

IPC (6件)：

G01N 13/14 ,  G01B 17/00 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/16 ,  G11B 7/09

FI (6件)：

G01N 13/14 A ,  G01B 17/00 Z ,  G01N 13/10 G ,  G01N 13/12 A ,  G01N 13/16 A ,  G11B 7/09 B

Fターム (4件)：

5D118AA13 ,  5D118CD15 ,  5D118DC10 ,  5D118EA11