特許
J-GLOBAL ID：200903002979207415
ディスク状基板保持用カセット及びディスク状基板の洗浄方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023958
公開番号（公開出願番号）：特開平8-221748
出願日： 1995年02月13日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 ディスク状基板を洗浄する際、洗浄効果を高くして歩留まりの向上、処理時間の短縮を図る。【構成】 縁部に、ディスク状基板1の外周縁が挿入される、逆V字形の切込よりなる支持部が形成された薄板よりなる基板保持板4を、その板面がディスク面に対して直交方向となるように配置してなるディスク状基板保持用カセット2。基板1が洗浄液中に完全に浸漬される位置から洗浄液から完全に露出する位置までカセット2を上下動させて洗浄する。【効果】 基板と基板保持板の基板支持部とが近接する面積を小さくし、基板表面と洗浄液との接触不良部分を最小にすると共に、カセット引き上げ時に発生する液溜まりを減少させる。基板が洗浄液から完全に露出される位置まで揺動させることにより、基板表面に接触する洗浄液の置換効率を高め、良好な洗浄効果を得る。
請求項（抜粋）：
ディスク状基板を該基板のディスク面が略鉛直となるように保持するためのカセットにおいて、縁部に、ディスク状基板の外周縁が挿入される、略V字形の切込よりなる支持部が形成された薄板よりなる基板保持板を、その板面が、保持されるディスク状基板のディスク面に対して直交方向となるように配置してなることを特徴とするディスク状基板保持用カセット。
IPC (5件)：
G11B 5/84
, B01J 19/00 311
, B05D 3/10
, B65G 1/00 537
, G11B 7/26
G11B 5/84 Z
, B01J 19/00 311 B
, B05D 3/10 F
, B65G 1/00 537 Z
, G11B 7/26
