特許
J-GLOBAL ID：200903002981939350
パーベーパレーション法の漏洩検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-342591
公開番号（公開出願番号）：特開平5-168874
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】パーベーパレーション法において、分離膜のピンホールや破断に起因する供給側から減圧側への供給液の漏洩を検出する。【構成】パーベーパレーション法において、透過蒸気温度を測定することにより供給液の漏洩を検出する。
請求項（抜粋）：
パーベーパレーション法において、透過蒸気温度を測定することにより給液側から減圧側への供給液の漏洩を検知することを特徴とするパーベーパレーション法の漏洩検出方法。
IPC (2件)：
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