電子ディスプレイを制御するための電子回路素子を作製する好適な方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-512654
公開番号（公開出願番号）：特表2003-505889
出願日： 2000年07月21日
公開日（公表日）： 2003年02月12日
要約：

【要約】電子ディスプレイを制御するのに有用な薄膜トランジスタ構造を作製するシステムおよび方法。全加色法を用いて、薄膜トランジスタを作製する。上記全加色法は、印刷技術、ソフトリソグラフィー法および材料堆積方法を含む。上記薄膜トランジスタを、上記構造の下部ゲートまたは上部ゲートに堆積することが可能である。上記堆積方法は、上記トランジスタ構造を上記電子ディスプレイデバイスからほとんど完璧に絶縁させる可能性を有し、これにより、上記トランジスタ構造と上記電子ディスプレイデバイスとの間の有害な相互作用を最小限にするか、または排除する。

請求項（抜粋）：

電子ディスプレイのためのアドレシングデバイスを基板上に作製する方法であって、(i)ゲート構造をスクリーン印刷する工程と、(ii)誘電体材料および半導体をインクジェット印刷する工程と、(iii)ソース構造およびドレイン構造の粗形状をスクリーン印刷する工程と、(iv)ソフトリソグラフィーを用いて、該ソース構造および該ドレイン構造の高解像度形状を印刷する工程と、を包含する、方法。

IPC (6件)：

H01L 21/336 , G02F 1/167 , H01L 21/288 , H01L 21/316 , H01L 29/786 , H01L 51/00

FI (11件)：

G02F 1/167 , H01L 21/288 Z , H01L 21/316 B , H01L 29/78 627 C , H01L 29/28 , H01L 29/78 616 K , H01L 29/78 617 T , H01L 29/78 617 V , H01L 29/78 618 B , H01L 29/78 618 A , H01L 29/78 619 A

Fターム (55件)：

4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104CC05 , 4M104DD51 , 4M104DD62 , 4M104DD78 , 4M104GG09 , 5F058AC02 , 5F058AF06 , 5F058AF10 , 5F058AG01 , 5F058AG09 , 5F058AH02 , 5F058AH03 , 5F058BC05 , 5F058BF47 , 5F058BF80 , 5F058BH01 , 5F058BH17 , 5F058BJ02 , 5F058BJ03 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110EE01 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG04 , 5F110GG05 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110HK01 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ06

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-259625
特開平2-139972
微細パターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-044060 出願人：株式会社ジーティシー

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