特許
J-GLOBAL ID：200903002993245931
単結晶引上げ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米原 正章 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054303
公開番号（公開出願番号）：特開平7-267772
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 少ないスペースに容易に設置でき、しかも生産効率も高い単結晶引上げ装置を提供する。【構成】 1基の溶解チャンバ1に選択的に接続可能な少なくとも1基のプルチャンバ8を設け、かつこれらプルチャンバ8を垂直状態を保持したまま平行移動自在なプルチャンバ平行移動手段5により支持すると共に、上記各プルチャンバ平行移動手段5を、上記溶解チャンバ1の近傍に旋回及び上下動自在に支持したもので、プルチャンバ8を順次溶解チャンバ1に接続することにより、連続して単結晶10の引上げが可能なため、生産効率が高いと共に、プルチャンバ平行移動手段5によりプルチャンバ8の旋回半径が自由に可変できるため、少ないスペースに複数のプルチャンバ8を容易に設置することができる。
請求項（抜粋）：
1基の溶解チャンバ1に選択的に接続可能な少なくとも1基のプルチャンバ8を設け、かつこれらプルチャンバ8を垂直状態を保持したまた平行移動自在なプルチャンバ平行移動手段5により支持すると共に、上記各プルチャンバ平行移動手段5を、上記溶解チャンバ1の近傍に旋回及び上下動自在に支持してなる単結晶引上げ装置。
IPC (2件)：
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