レーザービーム射出光学ユニットから射出されるレーザービームのピント位置測定方法およびピント位置調整方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-038892
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237307
出願日： 1998年02月20日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】レーザービームのピント位置測定を短時間で高精度に行う。【解決手段】レーザービーム射出光学ユニット1からレーザービーム(以下、「LB」という。)を照射する。次に、コリメーターレンズ(不図示)を収容した鏡筒2を所定の移動初期位置と移動最終位置との間でLBの光軸方向に繰り返し移動させつつ、一定の移動間隔毎に設定された測定ポイントにおけるLBの光量値をTVカメラ4によって繰り返し取り込む。続いて、取り込んだLBの光量値を平均化処理して光量値分布を算出し、さらにLBの光量値が最大となるコリメーターレンズの位置を算出する。

請求項（抜粋）：

レーザー光を照射するレーザー光源部と、前記レーザー光源部から照射されたレーザー光を平行光にしてレーザービームを形成するコリメーターレンズとを有するレーザービーム射出光学ユニットから射出されるレーザービームのピント位置測定方法であって、前記レーザービーム射出光学ユニットからレーザービームを射出するステップと、前記コリメーターレンズを所定の移動初期位置と移動最終位置との間で前記レーザービームの光軸方向に繰り返し移動させつつ、一定の移動間隔毎に設定された測定ポイントにおける前記レーザービームの光量値を繰り返し取り込むステップと、前記取り込んだレーザービームの光量値を平均化処理し、該平均化処理されたレーザービームの光量値の分布を算出し、さらに該分布に基づいて前記レーザービームの光量値が最大となる前記コリメーターレンズの位置を算出するステップとを有することを特徴とするレーザービーム射出光学ユニットから射出されるレーザービームのピント位置測定方法。

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