特許
J-GLOBAL ID:200903002994157424
ガスセンサとそれを用いた燃料電池システムおよび自動車
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-359063
公開番号(公開出願番号):特開2004-191164
出願日: 2002年12月11日
公開日(公表日): 2004年07月08日
要約:
【課題】水素と水蒸気が共存した環境下において水素濃度と湿度を区別して検出することができる高速応答で低消費電力のガスセンサを提供することを目的とする。【解決手段】ガス導入口14を設けた空洞部8上に配置した発熱素子2,4の1つとガス導入口14がない空洞部8上に配置した発熱素子3,5の1つとを1組として構成される計2組の検出部10,11で各々ブリッジ回路を形成し、2組の検出部10,11の発熱温度が相互に異なるように発熱素子2,3,4,5に電圧を印加し、両ブリッジ回路の出力をそれぞれあらかじめ既知の水素濃度から求めた水素感度換算係数で規格化し、両方の規格化出力の差から湿度出力を求め、あらかじめ既知の湿度環境下における湿度出力と湿度補正量の相関から求めた湿度補正式で規格化出力を補正して水素濃度を求めるものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
1枚のシリコンからなる基板上に設けた4個の発熱素子と、この4個の発熱素子の裏面にそれぞれ設けた4個の空洞部と、この4個の空洞部を覆うように前記基板に接合したシリコンからなる底板と、前記4個の空洞部のうち2個に貫通するように前記底板に設けたガス導入口とを有し、このガス導入口を設けた空洞部上に配置した発熱素子の1つとガス導入口がない空洞部上に配置した発熱素子の1つとを1組として構成される計2組の検出部で各々ブリッジ回路を形成し、前記2組の検出部の発熱温度が相互に異なるように前記発熱素子に電圧を印加し、前記両ブリッジ回路の出力をそれぞれあらかじめ既知の水素濃度から求めた水素感度換算係数で規格化し、両方の前記規格化出力の差から湿度出力を求め、あらかじめ既知の湿度環境下における前記湿度出力と湿度補正量の相関から求めた湿度補正式で前記規格化出力を補正して水素濃度を求めるように構成したガスセンサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (33件):
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AB03
, 2G060AE19
, 2G060AF07
, 2G060AF09
, 2G060AG10
, 2G060BA05
, 2G060BB05
, 2G060BB09
, 2G060BD04
, 2G060BD06
, 2G060BD08
, 2G060HA01
, 2G060HB05
, 2G060HB06
, 2G060HC04
, 2G060HC08
, 2G060HC13
, 2G060HC19
, 2G060HC21
, 2G060HC22
, 2G060HD01
, 2G060HD02
, 2G060HE01
, 2G060KA01
, 2G060KA04
, 5H027AA06
, 5H027BC14
, 5H027DD03
, 5H027KK01
, 5H027KK31
, 5H027KK41
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