特許

J-GLOBAL ID：200903002994995934

ガスセンサ及びその特性回復方法

発明者： 佐々木 博 ,  永田 邦裕
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018896
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215704
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】【目的】 NiO厚膜を利用したガスセンサの感度、応答特性を常に良好に保つ。【構成】 両面に櫛形電極2A〜2Dを形成したZrO2 基板1の一方の面にNiO厚膜3を形成する。両面の櫛形電極2B,2Cに直流電圧を印加してNiO厚膜3表面のガスを分解ないし拡散除去する。【効果】 NiO厚膜3の表面が常にリフレッシュされ、感度、応答特性が高められる。

請求項（抜粋）：

両面に櫛形電極が形成されたZrO2 基板の一方の面に、NiO厚膜を形成してなることを特徴とするガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/41