特許

J-GLOBAL ID：200903002997325778

真空バルブ

発明者： 春成 昭一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264319
公開番号（公開出願番号）：特開2003-074744
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 真空シールからの発塵を低減し、さらにダストの飛散を抑制できる構造の真空バルブおよびその操作方法を提供する。【解決手段】 開閉操作に伴って移動制御される板状の第1の弁体3と、第1の弁体3と弁座9との間に配設され、第1の弁体3と連動して駆動される第2の弁体4と、第1の弁体3の第2の弁体4側の面に設けられた第1のシール5と、第2の弁体4の弁座9側の面に設けられた第2のシール6と、第1の弁体3が開操作されたときに、第1段階では弁座9と第2の弁体4との接触状態を保った状態で第1の弁体3が第2の弁体4から開放するように、続く第2段階では第2の弁体4が弁座9から開放するように、第1の弁体3に対する第2の弁体4の動きを調整する調整手段と、第2の弁体4の中央部に設けられた通気部4bとを備えた真空バルブ。好適には、通気部4bにはダストフィルタ4cを設ける。

請求項（抜粋）：

開閉操作に伴って移動制御される板状の第1の弁体と、この第1の弁体と弁座との間に配設され、第1の弁体と連動して駆動される第2の弁体と、前記第1の弁体における前記第2の弁体との接触部に取り付けられた第1のシールと、前記第2の弁体における前記弁座との接触部に取り付けられた第2のシールと、前記第1の弁体が開操作されたときに、第1段階では前記弁座と第2の弁体との接触状態を保った状態で第1の弁体が第2の弁体から開放するように、第1段階に続く第2段階では前記第2の弁体が前記弁座から開放するように、前記第1の弁体に対する第2の弁体の動きを調整する調整手段と、前記第2の弁体における前記第2のシールの内側に設けられた通気部とを備えた真空バルブ。

IPC (4件)：

F16K 51/02 ,  F16K 1/44 ,  F16K 13/00 ,  F16K 51/00

FI (4件)：

F16K 51/02 A ,  F16K 1/44 B ,  F16K 13/00 F ,  F16K 51/00 B

Fターム (19件)：

3H052AA01 ,  3H052BA02 ,  3H052BA22 ,  3H052BA31 ,  3H052CA04 ,  3H052CA12 ,  3H052CA24 ,  3H052CA33 ,  3H052CD07 ,  3H052EA09 ,  3H066AA01 ,  3H066BA04 ,  3H066BA12 ,  3H066BA15 ,  3H066CA02 ,  3H066DA02 ,  3H066DA11 ,  3H066DA15 ,  3H066EA13