特許

J-GLOBAL ID：200903002999288772

カラーフィルタおよびその製造方法

発明者： 江添 康子 ,  二階堂 勝 ,  宮崎 大輔
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082952
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278497
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 平滑性を向上させたカラーフィルタを提供する。【構成】 ガラス基板31の一主面上に、R、G、Bの着色層32を形成する。着色層32のガラス基板31と着色層32との外縁がなすテーパ角を逆テーパとする。ガラス基板31および着色層32上に、黒色フォトレジストを塗布し、ガラス基板31の他主面から、全面露光した後、裏面露光で露光されていない着色層32上の遮光層33の黒色フォトレジストを現像する。UV光照射時に着色層32自体がマスクとなる着色層32の上面の黒色フォトレジストを除去し、着色層32,32の間に平面格子状となる遮光層33を形成する。樹脂を塗布、ベークし、熱硬化させ、オーバコート層34を形成する。酸化シリコン(SiO2 )膜35、ITO膜を連続成膜して、ITO膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングし、透明電極36を形成する。

請求項（抜粋）：

透明基板と、透明基板上に間隙を介して複数形成された着色層と、これら着色層の間隙に裏面露光によって設けられた遮光層とを有するカラーフィルタにおいて、前記着色層は、テーパ角が逆テーパであることを特徴とするカラーフィルタ。

IPC (3件)：

G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/20 101

FI (3件)：

G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/20 101