特許
J-GLOBAL ID：200903002999745073
超音波検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-115171
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285822
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 高い周波数の超音波が直ちに減衰する試料についても、空洞や不純物その他の欠陥の有無を検査することができる超音波検査装置を提供する。【構成】 超音波発生用レーザー10の出力はパルス幅を100〜200ns程度とするため、励起エネルギーを下げてある。このレーザー光11は、レーザー増幅器12において、パルス幅を維持した状態で増幅され、出力される。したがって、増幅後のレーザー光11は、パルス幅が広く、かつ十分な強度を有し、かかるレーザー光11が試料表面に照射されると、1〜2MHz 程度の低い周波数の超音波が発生する。この程度の周波数の超音波は、スラブや溶鉱のような、10〜20MHz 程度の高い周波数の超音波が伝播しにくい試料の中でも容易に伝播するため、このような試料も検査の対象とすることができる。
請求項（抜粋）：
パルス幅の広いレーザー光を生成し、これを試料に照射するレーザー光照射手段と、前記試料に単一波長のプローブ光を照射するプローブ光照射手段と、前記試料から反射されるプローブ光が受けるドップラーシフトを検出して光強度に変換するドップラーシフト検出手段と、を具備することを特徴とする超音波検査装置。
IPC (5件)：
G01N 29/00 501
, G01B 11/00
, G01B 17/00
, G01N 21/00
, G01N 29/04
G01N 29/00 501
, G01B 11/00 G
, G01B 17/00 Z
, G01N 21/00 A
, G01N 29/04
