電解水生成方法および電解水生成機構

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056107
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256259
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】半導体製造工程ならびに材料処理プロセスにおいて、金属不純物、パーティクルそして腐食性の残留ガス成分の洗浄可能で、薬品の使用量の低減で環境破壊を防ぎ半導体の製造コストを削減できるウエット処理装置を提供する。【構成】洗浄液として使用する電解水を生成するウエット処理装置は、電気分解の効率、電解水の生成効率そして電解水の制御性の向上をはかるために、以下の手段の少なくとも1つを用いる。(1) 電極間距離を可変とする。(2) 電極表面積を可変とする。(3) 隔膜材料にイオン交換膜とガス透過性膜を使用する。(4) 電解時、洗浄時の温度制御機構を有する。(5) 電解槽を圧力可変とする。(6) 超音波発振機構がある。(7) 電解槽外部に磁場発生機構を備える。

請求項（抜粋）：

電解質を添加した純水を電解槽に供給し、前記電解槽中に設けた電極間に電圧を印加して電解水を得る電解水生成方法において、前記電極間の距離を可変にすること特徴とする電解水生成方法。

IPC (4件)：

C02F 1/46 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306 , H01L 21/308

引用特許：

審査官引用 (5件)

アルカリイオン整水器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-226629 出願人：松下電工株式会社
特開昭53-088665
特開平3-000188

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