特許
J-GLOBAL ID：200903003004128340
基板搬送用ハンド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
島村 芳明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178216
公開番号（公開出願番号）：特開2000-006074
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：
【要約】【課題】 基板を斜めまたは垂直に搬送するときも、水平に搬送するときも基板のたわみを少なくすることができる。【解決手段】 基板14を把持して移送する基板搬送用ロボット9に使用するハンド1であって、先端にV字状の切欠き部1aを有する4角形状をしており、前記V字状の切欠き部1aの両側とハンド中間部の両側とに基板14に吸着する吸盤4を有し、かつ、前記V字状の切欠き部1aの両側の各先端に、起立して基板14の先端を把持する起伏可能な先端フック5を有し、ハンド内部に先端をリンク17を介して先端フック5に連結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装置7に連結した連結ロッド6を有し、ハンド後端の両側に先端フック5と対峙するように設けられ、ばね力により基板14の後端部を押える後端フック13を有する基板押え装置8を配設した。
請求項（抜粋）：
基板を把持して移送する基板搬送用ロボットに使用するハンドであって、先端にV字状の切欠き部を有する4角形状をしており、前記V字状の切欠き部の両側とハンド中間部の両側とに基板に吸着する吸盤を有し、かつ、前記V字状の切欠き部の両側の各先端に、起立して基板の先端を把持する起伏可能な先端フックを有し、ハンド内部に先端をリンクを介して先端フックに連結するとともに、後端をハンド後端に設けた連結ロッド押引装置に連結した連結ロッドを有し、ハンド後端の両側に先端フックと対峙するように設けられ、ばね力により基板の後端部を押える後端フックを有する基板押え装置を配設したことを特徴とする基板搬送用ハンド。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B25J 15/06 M
, B25J 15/06 Z
, B65G 49/07 C
, B65G 49/07 G
3F061AA01
, 3F061BA03
, 3F061BB03
, 3F061BC09
, 3F061BD01
, 3F061BD10
, 3F061CA01
, 3F061CB02
, 3F061CB05
, 3F061CC01
, 3F061CC03
, 3F061DB04
, 3F061DB06
