投影露光装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-044853
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260392
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】投影露光装置におけるレチクルパターンの投影像面と、ウエハの表面とを正確に、かつ短時間で一致させる投影露光装置を提供する。【構成】エンコーダサーボ系33と磁気センササーボ系43〜45からなるレベリング機構を駆動してウエハ1の傾きと高さを制御する垂直方向制御手段15とステージ5の水平方向の位置を制御する水平方向制御手段14を同時に動作させる。【効果】ステージの水平移動動作とウエハのレベリング動作を同時に行うので、スループットが向上する。

請求項（抜粋）：

ウエハを保持するテーブルと、レチクルに形成されたパターンを投影レンズを介して前記テーブル上のウエハ表面に結像転写させる光学系とを備える投影露光装置において、前記テーブルとその下方に設けた水平面内の2方向に移動するステ-ジとの間に、前記テーブルを前記水平面と略垂直に移動させる垂直方向移動手段と、前記テーブルを傾斜させる傾斜駆動手段とを設け、前記テーブル部分に、前記ウエハが前記テーブル上にある時の前記ウエハ表面の傾きと高さを検出する検出手段を設け、前記検出手段の検出値に基づき、前記垂直方向移動手段と傾斜駆動手段とを制御する制御手段を備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-350925
特開平2-037709
特開平2-037709

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