特許
J-GLOBAL ID:200903003009885310

振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-351458
公開番号(公開出願番号):特開2000-180173
出願日: 1998年12月10日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】振動子の屈曲振動片の成形後の形状のバラツキに起因する、回転角速度等の検出対象の検出感度のバラツキを減少させることである。【解決手段】振動子は、少なくとも一部が固定されている屈曲振動片16A-16Dと、屈曲振動片の屈曲振動と外部の電気信号との間の変換を行うための励振手段または検出手段とを備えており、屈曲振動片のうち励振手段または検出手段が設けられていない領域に凹部17A-17Dが設けられている。または、屈曲振動片16Aが屈曲振動する際の内部歪みが相対的に小さい領域に凹部17A-17Dが設けられている。
請求項(抜粋):
少なくとも一部が固定されている屈曲振動片と、この屈曲振動片の屈曲振動と外部の電気信号との間の変換を行うための励振手段または検出手段とを備えている振動子であって、前記屈曲振動片のうち前記励振手段または検出手段が設けられていない領域に凹部が設けられていることを特徴とする、振動子。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (10件):
2F105AA01 ,  2F105AA08 ,  2F105BB15 ,  2F105BB20 ,  2F105CC01 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD05 ,  2F105CD06
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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