特許

J-GLOBAL ID：200903003011089008

ダイヤモンド気相合成用基板ホルダ及びダイヤモンド気相合成方法

発明者： 横田 嘉宏 ,  小橋 宏司 ,  橘 武史
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148426
公開番号（公開出願番号）：特開2004-244298
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】マイクロ波を使用してダイヤモンドを気相合成する際に、多種類の基板に対応することが可能で、プラズマ分布を一定に保つことができるダイヤモンド気相合成用基板ホルダ及びそこの基板ホルダが最も効果を発揮するダイヤモンド気相合成方法を提供する。【解決手段】ホルダ本体21の上面に基板14を配置するための凹状の基板収納部25が形成され、基板収納部25の中央部には反応ガスを排気するための孔であるオリフィス22が設けられ、オリフィス22からは放射線状に8本の溝23が設けられ、基板収納部25の底面には、同心円状に配置された環状溝26a乃至dが設けられ、更に、基板ホルダ15の上面における基板収納部18の外側部分には、横断面が曲面である部材19が設けられているダイヤモンド気相合成用基板ホルダとする。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

ホルダ本体と、このホルダ本体の上面に形成された基板を配置するための凸状の基板収納部と、を有し、前記基板収納部は前記基板の厚さより深いことを特徴とするダイヤモンド気相合成用基板ホルダ。

IPC (5件)：

C30B29/04 ,  C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  C30B25/12 ,  H01L21/205

FI (5件)：

C30B29/04 E ,  C23C16/27 ,  C23C16/511 ,  C30B25/12 ,  H01L21/205

Fターム (27件)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB19 ,  4G077EA03 ,  4G077EG03 ,  4G077TA04 ,  4G077TA07 ,  4G077TF02 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030GA02 ,  4K030JA03 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030JA18 ,  5F045AA09 ,  5F045AB07 ,  5F045AC07 ,  5F045AE25 ,  5F045AF03 ,  5F045BB02 ,  5F045DP02 ,  5F045EM02