特許

J-GLOBAL ID：200903003017537762

傾斜ステージ

発明者： 山 口 政 志
出願人/特許権者： 駿河精機株式会社
代理人 (3件)： 加藤 静富 ,  入江 一郎 ,  野末 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-117483
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292475
出願日： 2006年04月21日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。【解決手段】傾斜ステージAは、円弧状に形成されたアリ条部1aを有するベース1と、このベース1に対向して設けられると共に、アリ条部1aに嵌合するアリ溝2aを有するプレート2と、このプレート2をアリ条部1aに沿って移動させる移動手段6と、アリ条部1aに嵌合して摺動するアリ溝2aは、対向する面2a’、2a”を有し、この対向する面2a’、2a”の内、少なくとも、一方の面2a’は、がたつきを有してプレート2に取り付けられているものである。【選択図】図10

請求項１：

円弧状に形成されたアリ条部を有するベースと、 このベースに対向して設けられると共に、前記アリ条部に嵌合するアリ溝を有するプレートと、 このプレートを前記アリ条部に沿って移動させる移動手段と、 前記アリ条部に嵌合して摺動するアリ溝は、対向する面を有し、 この対向する面の内、少なくとも、一方の面は、がたつきを有して前記プレートに取り付けられていることを特徴とする傾斜ステージ。

IPC (4件)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/42 ,  B23Q 1/34 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G12B5/00 T ,  B23Q1/42 ,  B23Q1/34 B ,  H01L21/30 503A

Fターム (13件)：

2F078CA08 ,  2F078CB08 ,  2F078CB18 ,  2F078CC02 ,  2F078CC13 ,  3C048BB11 ,  3C048BB20 ,  3C048CC01 ,  3C048DD11 ,  3C048EE07 ,  5F046CC01 ,  5F046CC13 ,  5F046CC18