特許
J-GLOBAL ID：200903003019844131
磁気記録媒体、およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218821
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073455
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】優れた摺動特性を示す保護潤滑膜を有する磁気記録媒体と、その効率的な製造方法。【構成】チャンバ1内で、磁気記録膜まで形成した磁気ディスク基板2を移動機構3により回転させながら、原料ガスボンベ7より混合噴射バルブ5を通して加圧した原料ガス16を噴射し、隔壁17の孔を通して整流する。そこに重水素ランプ6光を照射し、原料分子をラジカルにして、基板2に衝突させ、保護潤滑膜を形成する。
請求項（抜粋）：
非磁性基板を有し、該基板の少なくとも一方の面に強磁性薄膜を備える磁気記録媒体において、上記強磁性薄膜上に保護潤滑膜を有し、上記保護潤滑膜は、構成元素の構成比が、深さ方向に対してなめらかに変化することを特徴とする磁気記録媒体。
IPC (3件)：
G11B 5/72
, G11B 5/66
, G11B 5/84
