特許
J-GLOBAL ID：200903003022905290
磁気式ウォーム歯車およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-208621
公開番号（公開出願番号）：特開平9-056146
出願日： 1995年08月16日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】半導体プロセスなどに用いる薄膜形成,微細加工技術を利用することにより、マイクロマシン用として超小型,軽量化を可能にした磁気式ウォーム歯車,およびその製造方法を提供する。【解決手段】周面に螺旋状の磁気歯を形成したウォーム1と、ウォームと磁気的に噛み合うウォームホィール2との組合わせからなり、磁気歯の相互間に働く磁力で動力伝達を行う磁気式ウォーム歯車において、ウォームの周面に配列した螺旋状の磁気歯,およびウォームの磁気歯ピッチに合わせてウォームホィールの周面に配列した磁気歯を、N極とS極が交互に並ぶよう着磁した薄膜磁石3,4で形成する。そして、この薄膜磁石は、磁石材料の磁性薄膜を成膜したフレキシブル基板をウォーム,ウォームホィールの基体に巻きつけ、その磁気歯のパターンに合わせて前記磁性薄膜にN極,S極の着磁を施して形成する。
請求項（抜粋）：
周面に螺旋状の磁気歯を形成したウォームと、ウォームと磁気的に噛み合うウォームホィールとの組合わせからなり、磁気歯の相互間に働く磁力で動力伝達を行う磁気式ウォーム歯車において、ウォーム,ウォームホィールの磁気歯を薄膜磁石で形成したことを特徴とする磁気式ウォーム歯車。
IPC (3件)：
H02K 49/10
, F16H 49/00
, F16H 55/22
H02K 49/10 A
, F16H 49/00 A
, F16H 55/22
