特許

J-GLOBAL ID：200903003024900090

静電チャック基板

発明者： 久保田 芳宏 ,  川合 信
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-091233
公開番号（公開出願番号）：特開平6-000737
出願日： 1991年03月29日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はポア部を処理することによって、低温または高温に耐え、各種のプラズマガスにも耐性であり、静電力も大きい、静電チャック基板の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャック基板は、内部電極層とその上下に配置したセラミックス製の絶縁性誘電体層とからなる静電チャック基板において、この絶縁性誘電体層がその中に金属酸化物を主成分とする無機物を含浸させたものであることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

内部電極層とその上下に配置したセラミックス製の絶縁性誘電体層とからなる静電チャック基板において、この絶縁性誘電体層がその中に金属酸化物を主成分とする無機物を含浸させたものであることを特徴とする静電チャック基板。

IPC (4件)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-286248
  
• 特開昭62-157752