特許
J-GLOBAL ID：200903003026898395

摺動性に優れる硬質膜およびその被覆工具

発明者：
小林 正樹

小林 正樹 について

, 
渡邊 敏行

渡邊 敏行 について


出願人/特許権者：
東芝タンガロイ株式会社

東芝タンガロイ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-146515
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【目的】 硬質膜表面に微細孔を適量設けた被覆工具あるいは部品に関し、加工液あるいは潤滑液を使用した際に微細孔が液溜め効果を発揮し、チップ、ドリル、金型などの工具や軸受けのなどのしゅう動部品において、過酷な使用条件でも寿命を延長できる表面に微細孔を有する硬質膜およびその被覆工具の提供を目的とする。【構成】 基材表面に被覆された硬質膜の表面に、深さが1.0μm以上、平均径が0.5〜5μm、硬質膜全体の表面積に対する各開口部面積の総和の割合が0.02〜0.20でなる微細孔が点在している。【効果】 従来の同一硬質膜よりも、液溜め効果による加工液あるいは潤滑液の供給によって潤滑性が確保されるために、工具やしゅう動部品の寿命延長が図れる。
請求項（抜粋）：
周期率表の4a、5a、6a族元素、アルミニウム、シリコンの炭化物、窒化物、酸化物、硼化物およびこれらの相互固溶体の中から選ばれた1種以上からなる硬質膜において、該硬質膜の膜厚が1〜20μmの単層または2以上の多層であって、開口径が0.5〜5μmである微細孔を有することを特徴とする摺動性に優れる硬質膜
IPC (5件)：
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23B 51/00 ,  B23C 5/16 ,  B23P 15/28
FI (5件)：
C23C 14/06 P ,  B23B 27/14 A ,  B23B 51/00 J ,  B23C 5/16 ,  B23P 15/28 A
Fターム (29件)：
3C037CC01 ,  3C037CC02 ,  3C037CC08 ,  3C037CC09 ,  3C037CC10 ,  3C037CC11 ,  3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF05 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  3C046FF25 ,  4K029AA04 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BA53 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029EA01 ,  4K029FA04
引用特許：
審査官引用 (2件)

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