特許
J-GLOBAL ID:200903003029285556

分散/凝集状態を制御した遊離砥粒スラリー、その製造法及びその分散方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-094192
公開番号(公開出願番号):特開平8-257898
出願日: 1995年03月29日
公開日(公表日): 1996年10月08日
要約:
【要約】【目的】 長期安定な遊離砥粒スラリーを提供することである。【構成】 水系遊離砥粒スラリーにおいて研磨材粒子に、電荷決定イオンおよび界面活性剤を作用させて研磨材粒子を凝集状態にしたことを特徴とする、再分散可能な遊離砥粒スラリー、およびこれに界面活性剤を添加して分散した遊離砥粒スラリー。
請求項(抜粋):
水系遊離砥粒スラリーにおいて、研磨材粒子表面に電荷決定イオンおよび界面活性剤を付着し、凝集状態としたことを特徴とする、再分散可能な遊離砥粒スラリー。
IPC (4件):
B24B 37/00 ,  B01J 13/00 ,  C09K 3/14 550 ,  G11B 5/127
FI (4件):
B24B 37/00 H ,  B01J 13/00 B ,  C09K 3/14 550 Z ,  G11B 5/127 Q

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