振動センサの校正装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229428
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055837
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】簡易な構成により複数の周波数ポイントで高精度の校正ができると共に使い勝手の向上した振動センサの校正装置を提案する。【構成】中央処理ユニツト60により、振動検出手段13及び62からの検出データD1とデータ記憶手段66に記憶された振動検出手段13及び62の周波数特性データCi (i=1、2、......、n)とを比較し、この比較結果がほぼ等しくなるように加振信号形成手段61を制御する。この結果加振器12の加振レベルを各周波数ポイントにおいて所望の値に制御することができる。かくして簡易な構成により複数の周波数ポイントにおいて高精度の校正を行うことができる振動センサの校正装置50を得ることができる。

請求項（抜粋）：

所定の加振器により基準ピツクアツプ及び校正対象となる振動センサを等しい所定の加振レベルで加振し、このとき上記振動センサより得られる出力信号に基づいて上記振動センサの感度を校正する校正装置において、上記基準ピツクアツプからの出力信号に基づいて上記加振器の振動レベルを検出する振動検出手段と、上記振動センサからの出力信号に基づいて上記振動センサの感度を検出する感度検出手段と、上記振動検出手段からの検出データを入力すると共に、上記感度検出手段からの検出データを入力する中央処理ユニツトと、上記中央処理ユニツトから出力される制御信号に基づいて上記加振器を加振する加振信号を形成する加振信号形成手段とを具え、上記振動検出手段の検出データに基づいて上記加振器の加振レベルを所望の値に制御するようにしたことを特徴とする振動センサの校正装置。

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