特許

J-GLOBAL ID：200903003035962586

基板収納容器及び基板ハンドリング方法

発明者： 佐藤 淳一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259078
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085507
出願日： 1999年09月13日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 容器本体、これを密閉する蓋、あるいは蓋取付け用のパッキンなどから汚染物質が発生することがあっても、容器内の基板が汚染されることのない基板収納容器を、簡単な構成により安価に提供する。【解決手段】 プラスチック材料からなる容器本体1(FOUP)と、これを気密に閉鎖する着脱自在な蓋5とにより基板収納容器を構成する。蓋5の背面側に凹部9を形成し、容器本体1から離脱する基板汚染物質(脱ガス)を吸着する吸着剤(例えば繊維状の活性炭)を詰めたカセット8を、上記凹部9に交換自在にはめ込む。シリコン基板、ガラス基板などの基板のプロセス工程における基板ハンドリングを、上記基板収納容器を用いて行うことにより、デバイス特性の劣化を防止することができ、プロセスを安定に進めることができる。

請求項（抜粋）：

シリコン基板、ガラス基板などの基板を複数枚収納可能とした容器の一部に、基板とは異なる物体を収容する部位を有することを特徴とする基板収納容器。

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  H01L 21/68 A

Fターム (7件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA02 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031PA23