特許

J-GLOBAL ID：200903003042258045

電子ビーム照明装置及び該装置を備えた電子ビーム露光装置

発明者： 村木 真人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018773
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214777
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】 円弧状照明領域を有する電子ビーム照明装置の提供。【解決手段】 電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源から発散する電子ビームを収斂させる電子光学系と、共通の軸を中心とした2つの円筒面電極を有し、該2つの円筒面電極間に電界をかけることにより該2つの電極間を通過する前記電子光学系からの電子ビームを偏向して前記物体に導く第1の偏向手段とを有する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源から発散する電子ビームを収斂させる電子光学系と、共通の軸を中心とした2つの円筒面電極を有し、該2つの円筒面電極間に電界をかけることにより、該2つの電極間を通過する前記電子光学系からの電子ビームを偏向して前記物体に導く第1の偏向手段とを有することを特徴とする電子ビーム照明装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/153 ,  H01J 37/305

FI (7件)：

H01L 21/30 541 A ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/153 Z ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B