特許
J-GLOBAL ID：200903003049680540
金属薄板のエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-354877
公開番号（公開出願番号）：特開平10-183381
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 スプレイパイプの内壁面に付着したスケールを洗浄によりスプレイパイプ内から充分に排出して除去でき、金属薄板の主面に向けてエッチング液を常に均一に吹き付けることができる装置を提供する。【解決手段】 ノズル14が設けられたスプレイパイプ12の端部に開口部34を形設し、その開口部に着脱自在に密栓36を取着して開口部を開閉自在とし、スプレイパイプの内壁面に付着したスケールを洗浄して除去するための洗浄液をスプレイパイプ内へ供給する洗浄液供給手段を設けた。
請求項（抜粋）：
主面に所定のパターンを有するレジスト膜が形成された金属薄板の主面に向けて、スプレイパイプに設けられた複数個のノズルからエッチング液を吹き付け、金属薄板の主面の金属露出面をエッチングする、金属薄板のエッチング装置において、前記スプレイパイプの端部に開口部を形設し、その開口部に着脱自在に栓部材を取着して、開口部を開閉自在とするとともに、前記スプレイパイプの内壁面に付着したスケールを洗浄して除去するための洗浄液をスプレイパイプ内へ供給する洗浄液供給手段を設けたことを特徴とする、金属薄板のエッチング装置。
IPC (4件)：
C23F 1/08 103
, C23F 1/00
, C23G 1/00
, H01J 9/14
C23F 1/08 103
, C23F 1/00 C
, C23G 1/00
, H01J 9/14 H
