特許

J-GLOBAL ID：200903003051994781

音響センサー

発明者： 佐々木 勝司 ,  橋爪 洋平 ,  冨永 久昭 ,  稲永 浩道
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-017458
公開番号（公開出願番号）：特開2004-229200
出願日： 2003年01月27日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】振動板と背面電極板間で形成されたコンデンサーの容量値を変化させ取出される信号に含まれるノイズ信号を低減する。【解決手段】FETが設けられている半導体ウェファ11の中央部を薄くして形成された振動板13と、振動板13とに間隔を置いて設けられコンデンサーCを形成した背面電極板9とよりなり、前記半導体ウェファ11の周囲に形成されたトレンチ20とを形成し、トレンチ20の内周に絶縁膜を介してメタル膜を設け、そのメタル膜をFETのソース電極に接続する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

FETが設けられている半導体ウェファと、 前記半導体ウェファの中央部を薄くして形成された振動板と、 前記振動板とに間隔を置いて設けられコンデンサーを形成した背面電極板とよりなり、 前記半導体ウェファの周囲にトレンチを形成したことを特徴とする音響センサー。

IPC (4件)：

H04R19/01 ,  G01H11/06 ,  H01L29/84 ,  H04R19/04

FI (4件)：

H04R19/01 ,  G01H11/06 ,  H01L29/84 Z ,  H04R19/04

Fターム (18件)：

2G064AB13 ,  2G064BA07 ,  2G064BA08 ,  2G064BD05 ,  2G064BD25 ,  2G064BD51 ,  4M112AA06 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112EA03 ,  4M112FA20 ,  5D021CC08 ,  5D021CC19