プラズマ処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366144
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185545
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】プラズマ処理装置の処理室内の異物の種類を特定できるプラズマ処理装置を提供することにある。【解決手段】処理室内にレーザ光を照射するレーザ光照射光学系(40,42,44)と、異物からの散乱光を検出する散乱光検出光学系(50,52)とを備えている。振動数ズレ検出器64を用いて、レーザ光照射光学系によって照射されるレーザ光の振動数と、散乱光検出光学系によって検出される散乱光の振動数の差に基づいて、異物の種類を特定することができる。

請求項（抜粋）：

処理室内に光を照射して、処理室内の異物を検出する異物監視装置を有するプラズマ処理装置において、上記異物監視装置は、上記処理室内にレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、異物からの散乱光を検出する散乱光検出光学系と、上記レーザ光照射光学系によって照射されるレーザ光の振動数と、上記散乱光検出光学系によって検出される散乱光の振動数の差に基づいて、上記異物の種類を特定する異物特定手段を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置・

IPC (10件)：

H01L 21/31 , C23C 14/00 , C23C 16/44 , C23F 4/00 , G01N 21/65 , G01N 21/94 , H01L 21/203 , H01L 21/3065 , H05H 1/00 , H05H 1/46

FI (10件)：

H01L 21/31 C , C23C 14/00 B , C23C 16/44 B , C23F 4/00 F , G01N 21/65 , G01N 21/94 , H01L 21/203 S , H05H 1/00 A , H05H 1/46 C , H01L 21/302 E

Fターム (61件)：

2G043AA01 , 2G043CA07 , 2G043DA08 , 2G043EA03 , 2G043FA01 , 2G043GA02 , 2G043GA04 , 2G043GA08 , 2G043GB19 , 2G043GB21 , 2G043HA01 , 2G043HA09 , 2G043LA01 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051BA10 , 2G051BC05 , 2G051CB05 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 4K029CA05 , 4K029CA10 , 4K029DA01 , 4K029DA03 , 4K029JA01 , 4K030FA01 , 4K030FA02 , 4K030GA02 , 4K030HA17 , 4K030KA09 , 4K030KA30 , 4K030KA39 , 4K030KA49 , 4K057DA01 , 4K057DA20 , 4K057DJ01 , 4K057DJ07 , 4K057DN01 , 5F004AA14 , 5F004AA15 , 5F004AA16 , 5F004BA16 , 5F004BB11 , 5F004BB18 , 5F004BB22 , 5F004BB28 , 5F004BD04 , 5F004BD05 , 5F004BD06 , 5F004CB02 , 5F004CB09 , 5F045AA08 , 5F045BB15 , 5F045DP03 , 5F045EF02 , 5F045GB10 , 5F045GB16 , 5F103AA08 , 5F103BB60 , 5F103NN07 , 5F103RR10

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