特許
J-GLOBAL ID：200903003053613009
スパッタリング用窒化珪素系ターゲット材料
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-349559
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204214
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 組成が均一、均質で緻密である上、高強度かつ高純度のスパッタリング用窒化珪素系ターゲット材料を提供すること。【構成】 窒化珪素粉末と、ポリシラザン、特にペルヒドロポリシラザンの混合物を成形、焼結してなるスパッタリング用窒化珪素ターゲット材料。ポリシラザンは優れた成形、焼結用バインダーとして機能し、かつ極めて高純度であり得るので、上記目的のターゲット材料が得られる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素粉末とポリシラザンの混合物を成形、焼結してなることを特徴とするスパッタリング用窒化珪素系ターゲット材料。
IPC (2件)：
H01L 21/318
, C04B 35/58 101
