特許

J-GLOBAL ID：200903003055079468

炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法

発明者： 田中義和 ,  久米将実
出願人/特許権者： 日本カーボン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-202751
公開番号（公開出願番号）：特開平9-030888
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【課題】 シリコン単結晶引き上げ装置用のCCM製ルツボの吊り上げ方法につき、ルツボの設計、加工に大幅な変更なしに、装置に簡単な改良を加えることにより吊り上げ可能な方法を提供する。【解決手段】 シリコン単結晶引上げ装置用の炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法に関し、前記ルツボ底部とルツボを支えるペデスタルの間に炭素繊維強化炭素製のリングを介在させ、該炭素繊維強化炭素製リングを炭素繊維強化炭素製のルツボの取り付け、取り外し作業のための把持部材とする方法であって、前記ペデスタルには取付けの段差加工を施し、かつルツボ底部外面にはずれ防止用の切り溝を設けた構成とすることを特徴とする炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶引上げ装置用の炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法に関し、前記ルツボ底部とルツボを支えるペデスタルの間に炭素繊維強化炭素製のリングを介在させ、該炭素繊維強化炭素製リングを炭素繊維強化炭素製のルツボの取付け、取り外し作業のための把持部材とする方法であって、前記ペデスタルには取付けの段差加工を施し、かつルツボ底部外面にはずれ防止用の切り溝を設けた構成とすることを特徴とする炭素繊維強化炭素製ルツボの吊り上げ方法。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/10 ,  C30B 29/06 502 B ,  H01L 21/208 P