特許

J-GLOBAL ID：200903003058684478

直交形ガスレーザ発振装置の光共振器

発明者： 鈴木 正弘 ,  密田 祐次
出願人/特許権者： 株式会社アマダ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-115666
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315678
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【目的】 直交形ガスレーザ発振装置において、モードパターンの対称性が良好で、出力の大きなレーザ光の得られる光共振器を提供する。【構成】 一つの発明は、図(a)のように、ガス流と所定角度αをなす第1平面S1 に設けられたリアミラMr、第1折り返しミラMb1 、第2折り返しミラMb2 、第1光路平面変更ミラMp1 及び第1平面S1 に平行な第2平面S2 に設けられた第2光路平面変更ミラMp2 、第3折り返しミラMb3 、第4折り返しミラMb4 、出力ミラMoとからなる。二つめの発明は、図(b)のように、ガス流に対して所定角度βをなす第4平面S4 に設けられたリアミラMr、第5折り返しミラMb5 、第6折り返しミラMb6 、第3光路平面変更ミラMp3 及び第4平面S4 に直交する第5平面S5 に設けられた第4光路平面変更ミラMp4 、第7折り返しミラMb7 、第8折り返しミラMb8 、出力ミラMoとからなる。

請求項（抜粋）：

レーザガスのガス流方向と、光共振器の長手方向が互いに直交するガスレーザ発振装置において、複数の折り返し光路を含みガス流と所定角度αをなす第1平面の端部に設けられたリアミラ及び複数の折り返しミラと、複数の折り返し光路を含み第1平面に平行な第2平面の端部に設けられた出力ミラ及び複数の折り返しミラと、第1平面及び第2平面の同一側の端部にそれぞれ設けられた、光路方向を光共振器の長手方向に垂直な第3平面内で、第1平面及び第2平面に対してそれぞれ45度変更する第1光路平面変更ミラ及び、第2光路平面変更ミラとからなる直交形ガスレーザ発振装置の光共振器。