特許
J-GLOBAL ID：200903003065401368
縦型熱処理炉用ボート
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
桑井 清一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151347
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハのスリップ発生を防止した縦型熱処理炉用ボートを提供する。【構成】 複数の支柱14を上側連結板15および下側支持板12によって連結する。各支柱14の同じ高さ位置に半リング状のウェーハ保持板21を設ける。ウェーハWはこのウェーハ保持板21に線接触または面接触により支持されて搭載される。したがって、ウェーハ保持板21によりウェーハWの重量は分散させられるものである。この結果、ウェーハ搭載部において、ウェーハW自体には、熱処理中の熱応力によるスリップが発生しないものである。
請求項（抜粋）：
複数の支柱と、これらの支柱同士を連結する連結部と、上記各支柱の同じ高さ位置に配設されるウェーハ搭載部と、を備えた縦型熱処理炉用ボートであって、上記ウェーハ搭載部は、ウェーハの搭載時、このウェーハの重量を分散させる分散手段を有することを特徴とする縦型熱処理炉用ボート。
引用特許：
前のページに戻る
