特許
J-GLOBAL ID：200903003070066070
浮上ユニット及び浮上装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-026577
公開番号（公開出願番号）：特開2006-319309
出願日： 2006年02月03日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】 個数増大を伴うことなく、うねったワークであっても確実に非接触の状態で保持できる浮上ユニットを得る。【解決手段】 揺動本体31に設けた収容凹部32に支持体21の球体部24を収容し、収容凹部32の上面32aに設けたテーパ面35と球体部24の球面24aとを当接させて揺動本体31が揺動自在となるようにした。揺動本体31に設けた多孔質体37には、収容凹部32内を介してエアが供給されるが、Oリング33,47を設けてその収容凹部32内から外部へのエア漏れを防止した。これにより、ガラス基板自身にうねりがあっても、揺動本体31の倣い動作により、浮上力をガラス基板Gに対して確実に作用させ、非接触状態を確実に保持できる。また、外部にエアが漏れないため、エアが無駄に消費されることを抑制できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加圧気体が噴出する噴出面を備え、その噴出面から噴出させた加圧気体によって噴出面と非接触の状態でワークを支持する浮上ユニットにおいて、
前記噴出面を有する揺動体と、設置面に固定されて揺動体を支持する支持体とを備え、
揺動体又は支持体に設けた支持空間内に揺動体の被支持部と支持体の支持部を配置し、その被支持部及び支持部を前記噴出面が支持体の設置面に対して水平となる状態を基準として前記揺動体が揺動自在となるように構成し、
前記支持体には支持体流路を設け、前記揺動体には前記噴出面につながる揺動体流路を設け、その支持体流路と揺動体流路とを前記支持空間内で連通させ、その支持空間内の加圧気体の漏れを防ぐシール手段を設けたことを特徴とする浮上ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 N
, G02F1/13 101
2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088MA20
, 5F031CA05
, 5F031HA12
, 5F031HA80
, 5F031KA02
, 5F031PA14
