特許

J-GLOBAL ID：200903003070704123

ネガ型感光性組成物

発明者： 落合 為一 ,  高崎 龍一郎
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171036
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011834
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下で作用する架橋剤、下記式(I)又は(II)で示される光酸発生剤及び増感剤を含有してなるネガ型感光性組成物。【化1】式中、Arは置換基を有していてもよいフェニル又はナフチルを、X1〜X11はH、Cl又はBrを表わし、但し、X1〜X3及びX4〜X11の夫々少なくとも1つはCl又はBrである。【効果】本発明の組成物は、高度感、高解像性であり、特にi線露光用のフォトレジストとして有用である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤、光酸発生剤及び増感剤を含有してなるネガ型感光性組成物において、該光酸発生剤が下記一般式(I)または(II)で示されるハロゲン化合物であることを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】(式(I)中、Arは置換基を有していても良いフェニル基又はナフチル基を、X1、X2及びX3はそれぞれH、ClまたはBrを表わすが、X1、X2及びX3の少なくとも1つはCl又はBrである。式(II)中、X4〜X11ははそれぞれH、Cl又はBrを表わすが、X4〜X11の少なくとも1つはCl又はBrである。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03C 1/675 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027