ガラス状炭素製パイプ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074353
公開番号（公開出願番号）：特開平11-322428
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】【課題】 CVD装置用ノズルとして用いても優れた耐食性を発揮して、しかもCVD膜の汚染の原因となる無機充填材を含まないガラス状炭素製パイプ及びその製造方法を提供する。【解決手段】熱硬化性樹脂を原料とするガラス状炭素製パイプの製造方法において、上記熱硬化性樹脂の硬化温度より高融点で、且つ焼成温度より低融点の熱溶融性材料からなると共に、上記ガラス状炭素製パイプの中空部形状に形成されたロッドを中子として用い、中子の外周まわりに熱硬化性樹脂材料をパイプ状に被装して、該熱硬化性樹脂材料の硬化温度に加熱して硬化させた後、上記中子を該中子の融点以上で上記熱硬化性樹脂材料の焼成温度以下に加熱することによって上記中子を溶融流出させ、得られた熱硬化性樹脂製パイプを焼成してガラス状炭素製パイプとする。

請求項（抜粋）：

熱硬化性樹脂を原料とするガラス状炭素製パイプの製造方法であって、上記熱硬化性樹脂の硬化温度より高融点で、且つ焼成温度より低融点の熱溶融性材料からなると共に、上記ガラス状炭素製パイプの中空部形状に形成されたロッドを中子として用い、中子の外周まわりに熱硬化性樹脂材料をパイプ状に被装して、該熱硬化性樹脂材料の硬化温度に加熱して硬化させた後、上記中子を該中子の融点以上で上記熱硬化性樹脂材料の焼成温度以下に加熱することによって上記中子を溶融流出させ、得られた熱硬化性樹脂製パイプを焼成してガラス状炭素製パイプとすることを特徴とするガラス状炭素製パイプの製造方法。

IPC (5件)：

C04B 35/52 , B29C 67/04 , B29D 23/00 , F16L 9/00 , B29K101:10

FI (4件)：

C04B 35/52 A , B29C 67/04 , B29D 23/00 , F16L 9/00 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平1-320210
特開平2-121746
特開昭48-000609

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