特許
J-GLOBAL ID:200903003074577630

真空計

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-091801
公開番号(公開出願番号):特開平7-072030
出願日: 1991年01月28日
公開日(公表日): 1995年03月17日
要約:
【要約】【目的】 交差電磁界真空計について、磁石を陰極に用いることにより、究極的にシンプルな形状にすると共に、ヌード形を実現できるようにする。また、磁石の効率を向上させると共に測定の精度を向上させる。【構成】 磁石からできた陰極を、真空中に配し、これに電源より電力を供給し放電電流を測定する。
請求項(抜粋):
内部を真空にできる真空容器,前記真空容器の内部に設けられた磁石からできた陰極、前記磁石が発生する磁力線と直交成分を有する電界を発生する電源及び放電電流を測定する測定器よりなる真空計。

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