特許
J-GLOBAL ID:200903003081657364

圧電アクチュエータ及びその駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 祥泰 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-156827
公開番号(公開出願番号):特開2003-069101
出願日: 2002年05月30日
公開日(公表日): 2003年03月07日
要約:
【要約】【課題】 温度,電界,圧縮応力という使用条件の範囲が広い場合においても,変位の変化が小さい圧電アクチュエータ及びその駆動方法を提供すること。【解決手段】 電圧の印加により変位を生ずる圧電体11を駆動源として用いる圧電アクチュエータ1において,圧電体11は,使用する際の最低温度,最低電界,最大圧縮応力という条件下において,結晶構造が,正方晶と菱面体晶との結晶相境界(MPB)よりも実質的に正方晶側にある。
請求項(抜粋):
電圧の印加により変位を生ずる圧電体を駆動源として用いる圧電アクチュエータにおいて,上記圧電体は,使用する際の最低温度,最低電界,最大圧縮応力という条件下において,結晶構造が,正方晶と菱面体晶との結晶相境界(MPB)よりも実質的に正方晶側にあることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件):
H01L 41/083 ,  F02M 51/00 ,  F03G 7/00 ,  H01L 41/187
FI (5件):
F02M 51/00 E ,  F03G 7/00 H ,  H01L 41/08 S ,  H01L 41/08 P ,  H01L 41/18 101 D
Fターム (20件):
3G066AA07 ,  3G066AB02 ,  3G066AC09 ,  3G066AD12 ,  3G066BA00 ,  3G066CC06T ,  3G066CC08T ,  3G066CC08U ,  3G066CC14 ,  3G066CC64T ,  3G066CC64U ,  3G066CC66 ,  3G066CC67 ,  3G066CC68U ,  3G066CC69 ,  3G066CC70 ,  3G066CD18 ,  3G066CD28 ,  3G066CE27 ,  3G066CE31
引用特許:
審査官引用 (4件)
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