特許
J-GLOBAL ID：200903003086319378
真空ポンプおよびその駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033239
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249187
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：
【要約】【目的】 高速排気と超高真空との二つの要請を同時に満足することができ、しかも小型の真空ポンプおよびその駆動方法を提供すること。【構成】 真空チャンバー4内の気体を排出して真空チャンバー4内の真空度を高める真空ポンプ2であって、二以上の独立した排気室6,8を有し、各排気室6,8内にそれぞれ装着してある動翼16,18が、単一の駆動軸10で駆動される。駆動軸10は、磁気浮上型軸受24により回転自在に支持されていることが望ましい。排気開始直後には、複数の排気室6,8を並列して使用して排気を行い、真空チャンバー4内の真空度が所定値以上になった場合に、複数の排気室6,8を直列に接続して多段排気を行なう。
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内の気体を排出して真空チャンバー内の真空度を高める真空ポンプであって、二以上の独立した排気室を有し、各排気室内にそれぞれ装着してある動翼が、単一の駆動軸で駆動されることを特徴とする真空ポンプ。
IPC (4件)：
F04D 19/04
, F04D 17/14
, F04D 25/16
, H01L 21/302
