特許

J-GLOBAL ID：200903003098685159

カラーフィルタの製造方法

発明者： 安部 考彦 ,  洞地 克敬 ,  矢野 博久
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-276145
公開番号（公開出願番号）：特開2001-100021
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】液晶表示装置用の顔料分散方式カラーフィルタの製造工程において、着色レジストをガラス基板上にスピンコートしてパターン形成した後、レジストが基板周辺部に残渣として残り、これが洗浄工程において溶けだし、着色パターン部にシミ・汚れ不良等を発生させる問題がある。この基板周辺のレジスト残渣を無くしたカラーフィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】カラーフィルタ基板の少なくとも対向する2辺の周辺部に、数百から数万ppmの範囲のオゾンガスと、露光量1〜100J/cm2の紫外線を照射し、基板の四辺周辺に存在するレジスト膜を減少もしくは除去する工程を含むこと。

請求項（抜粋）：

矩形の液晶表示装置用カラーフィルタ基板の少なくとも対向する2辺の周辺部に、数百から数万ppmの範囲のオゾンガスと、露光量1〜100J/cm2の紫外線を照射し、基板の四辺周辺に存在するレジスト膜を減少もしくは除去する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G09F 9/00 342

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G09F 9/00 342 Z

Fターム (9件)：

2H048BA43 ,  2H048BB14 ,  2H048BB42 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC12 ,  5G435GG12 ,  5G435KK07 ,  5G435KK10