特許
J-GLOBAL ID:200903003104436026
電磁波検出器およびこれを備えた検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小野 由己男
, 加藤 秀忠
, 元山 雅史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-154015
公開番号(公開出願番号):特開2006-329822
出願日: 2005年05月26日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】 低いエネルギーのX線(電磁波)を照射して検査を行う場合でも、高感度でX線(電磁波)を検出し、高解像度の画像を作成して高精度な検査を実施することが可能な電磁波検査装置を提供する。【解決手段】 X線検査装置10では、基板31と、フォトダイオード32と、蛍光体33とを有しており、X線照射器13側からみて、フォトダイオード32、蛍光体33の順に配置されている。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
物品に対して照射された電磁波のうち、前記物品を透過した電磁波を検出する電磁波検出器であって、
前記物品に対して第1電磁波を照射する照射器と、
前記物品を透過した第1電磁波を、前記第1電磁波よりも波長が長い第2電磁波に変換する波長変換部と、
前記第1電磁波を透過させて前記波長変換部において変換された前記第2電磁波を検出するとともに、前記照射器と前記波長変換部との間に設けられている検出部と、
を備えている、
電磁波検出器。
IPC (3件):
G01N 23/04
, G01T 1/20
, G21K 5/02
FI (3件):
G01N23/04
, G01T1/20 E
, G21K5/02 X
Fターム (15件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA10
, 2G001GA06
, 2G001HA13
, 2G001KA03
, 2G001PA11
, 2G088EE29
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088JJ04
, 2G088JJ40
引用特許:
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