特許

J-GLOBAL ID：200903003107003260

基板処理装置

発明者： 志賀 正佳 ,  枦木 憲二 ,  大谷 正美 ,  西村 讓一
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229122
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045776
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 基板の検査に関する条件を容易に設定することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】 検査ユニット20の磁気ディスク25に複数の検査レシピを保持している。複数の検査レシピのそれぞれには検査に関する異なる条件を記述するとともに、それら複数の検査レシピのそれぞれに異なる固有の番号(レシピ番号)を付けている。そして、いずれの検査レシピを使用するかについては、複数の検査レシピのいずれかに対応付けられたレシピ番号をオペレータが操作パネル61から選択することができ、それによって検査ユニット20での検査に関する条件を指定することができる。選択されたレシピ番号は、フローレシピに記述され、伝達部57から検査ユニット20に伝達される。検査ユニット20は、指定された検査レシピに従って検査を実行する。

請求項（抜粋）：

基板に所定の処理を行う処理部を備えた基板処理装置であって、基板に対して所定の検査を行う検査部と、前記検査部に対して基板を搬出入する搬出入手段と、前記検査部での検査に関する条件を指定する指定手段と、前記搬出入手段が前記検査部に基板を搬入する前に、前記指定手段から指定された当該基板についての検査に関する条件を前記検査部に伝達する伝達手段と、を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/66 G ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 561

Fターム (36件)：

4M106AA01 ,  4M106DG03 ,  4M106DG08 ,  4M106DJ38 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA32 ,  5F031JA37 ,  5F031JA45 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA11 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA33 ,  5F031PA04 ,  5F046AA28 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046JA21