特許

J-GLOBAL ID：200903003108088715

青色発光素子及びその製造方法

発明者： 薄田 真人 ,  須賀 誠一
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-179514
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029652
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 効率良く青色を発光する青色発光素子及びその製造方法を提供するようにする。【構成】 フッ素を添加したアモルファス水素化炭化珪素(a-SiC:H,F)薄膜17を発光層として用いる。薄膜中のSiとCが均一に分散してランダムネットワークを形成できると共に、ポリマー状のC-C結合あるいはグラファイト状の結合を有するC原子が多量に存在しないため、効率良く青色を発光することができる。この薄膜17は、水素化珪素とフッ化炭素の混合ガス、またはフッ化珪素と炭化水素の混合ガスを主たる原料として用い、グロー放電プラズマによって形成する。

請求項（抜粋）：

フッ素が添加されたアモルファス水素化炭化珪素薄膜を発光層として用い、前記薄膜中のフッ素の濃度X(atm%)を5乃至50の範囲に設定したことを特徴とする青色発光素子。

IPC (3件)：

H01L 33/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-069691
  
• 特開昭62-051275
  
• 特開昭58-056414